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多参数传感器基本先容

日期:2021-09-11 17:19
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摘要:
多参数传感器基本先容
  现代微机电技术和半导体技术能够在硅基片上制作微电子集成电路和多参数传感器阵列,用于测量各种化学量和物理量参数。这种传感器成为多参数传感器,表现为单一结构,集成在局部小面积上,能够检测一组化学量和物理量。多参数传感器并不是一套简单的单一功能的传感器,而是为了减小芯片面积和分享数字或准数字输出等结构高度集中的传感器。上等传感器能同时探测各种参数如温度、压力、气体和蒸汽浓度、味觉、加速度、惯性、电磁场区域等,它能够产生频时域输出信号,携带传感元件提供信息。
  如果在一些通道中频率和几个被测量有线性函数关系,那么这些影响多参数频率传感器的参数由专用算法计算。例如,对于多参数传感器,有如下的线性转换特征
  Fx1=a1y+b1x
  Fx2=a2y+b2x
  式子中a1、a2、b1、b2为敏感因子;x、y为检测参数。

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